镀膜技术
使用最新的设备提供各种涂层服务，包括电子束真空镀膜机/溅射镀膜机/等离子清洁系统等。
LIDT（激光诱导损伤阈值）测量
我们可以为大功率激光光学器件提供标准的LIDT测试。根据最新的现有国际ISO 21254的准则进行标准测试程序
下图描述了激光损伤测试的基本方法：
损伤形态
典型示例激光对薄膜的损伤强度和形状取决于激光波长和薄膜材料。
准分子激光光学（AR窗口）
激光光学（HR窗口）
7 J / cm2@ 343nm
11 J / cm2@ 532nm
15 J / cm2@ 1064nm
8 J / cm2@ 343nm
12 J / cm2@ 532nm
18 J / cm2@ 1064nm
仪器
配备了UV，VIS和IR激光器，可进行LIDT测量
还配备了Nomarsky DIC显微镜，可捕获激光损坏时刻。
紫外线影像
显示图片
红外图像
DIC显微镜
IBS镀膜机
技术参数：
- 来自CEC GmbH的IBS“ Navigator 1000”
- 紫外线涂料：HfO2，SiO2，Al2O3
- 可用目标材料：Hf，Si，Al，Ta，Ti
- 本底压力：<2x10-7 mbar
- 传送室，清洁度高
- 光学监控（BBM）：230-1050 nm
- Rugate 设计/两种材料的混合
射频源镀膜机
- 镀膜偏移后：2nm以内
- 灰尘少，使用寿命长，质量高
重现性和均匀性
ETC
ITO和母线涂层
- sq：40〜80ohm
- BBAR@ 0.45〜0.85um＆1.55um
- HD（高耐久性）AR
椭圆反射镜二向色涂层
- Ra>95％@250〜450nm，Ra<5％@500〜1200nm
Al6061降低应力的“金属+二向色性”涂层
- 涂层后RMS 20nm
- R> 99％@1540nm，AOI：0〜30deg