镀膜技术
使用最新的设备提供各种涂层服务,包括电子束真空镀膜机/溅射镀膜机/等离子清洁系统等。

LIDT(激光诱导损伤阈值)测量
我们可以为大功率激光光学器件提供标准的LIDT测试。根据最新的现有国际ISO 21254的准则进行标准测试程序
下图描述了激光损伤测试的基本方法:
损伤形态
典型示例激光对薄膜的损伤强度和形状取决于激光波长和薄膜材料。
准分子激光光学(AR窗口)
激光光学(HR窗口)

7 J / cm2@ 343nm

11 J / cm2@ 532nm

15 J / cm2@ 1064nm

8 J / cm2@ 343nm

12 J / cm2@ 532nm

18 J / cm2@ 1064nm
仪器
配备了UV,VIS和IR激光器,可进行LIDT测量
还配备了Nomarsky DIC显微镜,可捕获激光损坏时刻。

紫外线影像

显示图片

红外图像

DIC显微镜
IBS镀膜机

技术参数:
- 来自CEC GmbH的IBS“ Navigator 1000”
- 紫外线涂料:HfO2,SiO2,Al2O3
- 可用目标材料:Hf,Si,Al,Ta,Ti
- 本底压力:<2x10-7 mbar
- 传送室,清洁度高
- 光学监控(BBM):230-1050 nm
- Rugate 设计/两种材料的混合



射频源镀膜机
- 镀膜偏移后:2nm以内
- 灰尘少,使用寿命长,质量高


重现性和均匀性


ETC

ITO和母线涂层
- sq:40〜80ohm
- BBAR@ 0.45〜0.85um&1.55um
- HD(高耐久性)AR
椭圆反射镜二向色涂层
- Ra>95%@250〜450nm,Ra<5%@500〜1200nm
Al6061降低应力的“金属+二向色性”涂层
- 涂层后RMS 20nm
- R> 99%@1540nm,AOI:0〜30deg