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测量评估

使用最新的设备提供各种涂层服务,包括电子束真空镀膜机/溅射镀膜机/等离子清洁系统等。
测量设备规格

· 干涉仪:平面/圆柱/曲率测量(CX≤700,CC≤1000 )

– RMS简单重复性<0.06nm,λ/ 10,000(2σ)

– RMS波前重复性<0.35nm,λ/ 1,800(mean +2σ)

– 峰值像素偏差<0.5nm,λ/ 1,200(99.5%)

– 瞳孔聚焦范围4英寸


· 三维测量设备:平行度/平面图/垂直度/圆度的测量

– 分辨率(um):标准0.5,高精度0.1

– 最大允许:标准3.5 + L / 300、3.5,高精度3.0 + L / 300、3.0


· Prism Master:角度测量

– 光电自准直仪:EFL 300 mm,直径57mm

– 光电自准直仪的精度:分辨率0.01;重复性±0.1


· 表面粗糙度测量:表面粗糙度测量(Ra)

– 可测量10x,50x,100x

– 垂直扫描范围

– 150um,扩展扫描范围至20mm

– 垂直分辨率<0.1mm

– 横向分辨率0.36至9.50 um

– RMS重复性<0.01nm


· 光谱仪:透射率/反射率(绝对反射)/吸光度的测量

– 波长范围190〜2800nm / 250〜2500nm(使用自动偏振器)

– 透射率0到85度

– 反射率5到85度

– 测量误差(重复10次)测量值)<0.1%


· Mahr LD260:平面/非球面/圆柱体/形状和粗糙度的

– 测量–探头测量范围

(1)13mm(100mm探头臂)

(2)26 mm(200mm探头臂)

– 驱动器X轴不确定度:±0.2 * L.1000 )um

– 测量时间: 5〜10 分钟

– 测量范围/分辨率(Z轴)13mm / 0.8nm

– 测量范围/分辨率(X轴)0.1-260mm / 0.8nm

– 最小测量距离(X轴)0.05- 30um

– 定位精度:0.1um


· ASI:平面/非球面/曲率(CX550 / CX700)的测量

– 重复性≤10nm(λ/ 60)rms

– 再现性≤20nm(λ/ 30)rms

– 精度≤30nm(λ/ 20)rms

– 可测直径≤300mm

产品图片

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